二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK FI #293822113 待售

Reflexion LK是一種用於材料研究和生產的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統專為光刻、絕緣子矽（SOI）和非均質光電器件的研發和生產而設計。該機具有半導體級濕磨床和拋光機，提供精確的表面粗糙度和可預測的均勻性。它能夠從微米磨削表面，將表面磨削到1 um，將表面拋光到0.1um。其高度可調的安裝底座為批處理操作提供了靈活性，其機器人集成設計簡化了自動化，消除了晶圓的手動處理。集成工藝溫度控制器允許將晶圓溫度精確控制在0.1°C以內，這對於提高精度和吞吐量至關重要。自動平衡功能可減少加工過程中的機器振動,而專有的操作工具可確保晶圓的精確定位和處理。AMAT Reflexion LK具有先進的計量能力，包括三維（3D）非接觸面表征、自動缺陷檢測和遏制以及線緣粗糙度測量。它有一個集成腔室映射單元，使用戶能夠準確跟蹤晶圓批號、處理日期和順序以及處理溫度變化。該設備配備了自動門和關機系統等最先進的安全功能，以防止積塵、磨損和不安全條件。還提供自動機器清洗。APPLICED MATERIALS Reflexion LK是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光工具，適用於各種材料研究和生產任務。它提供對溫度、表面均勻性、過程自動化、計量和安全性的精細控制的高精度表面制備。