二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide #293659314 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide
ID: 293659314
Dielectric CMP System.
AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide是晶圓研磨、研磨、拋光設備。用於矽、砷化的大批量制造,以及其他基材,該系統非常適合半導體行業的平面化需求。LK氧化物的結構部件采用工業級金屬和合金部件,如不銹鋼,具有優異的耐腐蝕和防銹性能。這一設備能夠在600°C的最高溫度下運行,同時產生速度和精度都很高的YAG激光束。通過調整光束電壓和電流來校準和調節光束的強度。LK Oxide除了結構妝外,還包括四個磨頭和兩個拋光/研磨板。它可以支撐直徑不超過12英寸的研磨和拋光板。具有旋轉板材的能力,機組可一次生產平整均勻拋光的基材,研磨機頭配有預設的金剛石砂礫,可調整為指定砂礫,為多種材料生產合適的光潔度。LK氧化物利用機械臂技術將晶片從一個站轉移到另一個站。這確保了機器的準確可靠的轉移和過渡與最小晶圓斷裂.此外,檢疫站保護晶片在過程中免受額外的汙染和降解。整個機器由一個叫做Reflexion Control Tool (RCS)的專有軟件控制。RCS采用多種算法對激光束強度進行校準和控制,以達到最佳效果。它還允許用戶保存自定義程序,以便於回憶以前的設置和參數。這種應用材料LK氧化物是為滿足半導體行業先進的平面化需求而設計的高效可靠的資產。其工業級組件和先進軟件提供了卓越的性能和精確度,並且極小地降低了晶圓斷裂或汙染的風險。
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