二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide #9292971 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide
已售出
ID: 9292971
Dielectric CMP system.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide equipment is a wafer grinding, lapping, and opulishing system which advanced technologies with user-friendly software for quich, pressible of wafer基材.該裝置產生高長寬比、高均勻度晶片和具有優異電熱性能的薄層。AMAT Reflexion LK氧化機由三個主要部件組成:塗層頭、研磨/拋光頭和研磨頭。塗層頭包含一個集成的真空室,用於精確沈積無定形氮化矽、二氧化矽和其他氧化層。研磨/拋光頭的設計可提供多種基板的均勻拋光。它還包含一個兩區支架,以方便同時拋光多種晶圓基板。最後,磨頭包括一個磨盤,用於晶圓基板的高效磨削.這個圓盤能夠從晶圓表面去除氧化矽和其他層。APPLICED MATERIALS Reflexion LK Oxide tool是專為產生具有超細層的晶片而設計的。它能夠生產僅11 nm、均勻性優於1nm/cm2的纖維層。該資產還設計用於提供精確的平面化,而無需進行積極的研磨或拋光。這有助於防止晶片表面損壞,並確保晶片質量一致。為了保證晶片塗層的精度,Reflexion LK氧化物模型采用了先進的軟件共分析技術。此掃描可加速產品開發,並確保從晶圓到晶圓的一致性。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide設備非常適合要求苛刻的生產應用。其先進的技術、用戶友好的軟件和精確的平面化使得它成為生產復雜晶片基板的完美解決方案。它提高了效率,改善了產品質量,降低了生產成本,從而實現了最大價值和成本節約。
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