二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Prime #293808181 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 293808181
優質的: 2017
Chemical Mechanical Polishing (CMP) System
Hard Disk Drive (HDD)
No polishing head
2017 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Prime是一種高性能晶圓研磨、研磨、拋光設備，用於從一般半導體制造到MEMS原型制作等多種應用。該系統具有優異的性能、準確性和靈活性,可用於高分辨率、低表面粗糙度的研磨、膝部和拋光晶片。利用先進技術，AMAT Reflexion LK Prime可以同時研磨、研磨和拋光晶片，以滿足最嚴格的工藝要求。PLICED MATERIALS Reflexion LK Prime非常適合研發和生產,它配備了IR ALD單元,用於控制晶片在研磨過程中彎曲或彎曲的邊緣。這臺機器采用獨特的基於臂、剛性和動態的研磨平臺，允許加工寬達200毫米的晶片，並實現兩個獨立的研磨機構，旨在實現非常精細的拋光。此外，還提供了一個向下主軸壓力傳感器，以提供對施加到晶片表面的研磨力的穩定性和反饋。Reflexion LK Prime能夠實現低表面粗糙度值和優越的邊緣質量,具有無與倫比的可重復性。結合三軸機器人、先進的觸摸傳感工具，以及專用的機器視覺資產，模型流式處理作業，自動設定在理想速度下的正確定位。通過高敏度的壓力調節和冷卻液分配以及集成的過程控制軟件實現了卓越的過程控制。先進的光學曲率測量設備確保了LK Prime操作的精確晶圓弓測量，從而實現了光學平坦表面。此外，該系統采用集成晶圓曲率測量技術測量晶圓在研磨過程中的曲率，從而實現了材料去除的精確控制。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Prime采用了自上而下、基於晶圓級別的方法,有助於確保準確的過程控制。AMAT Reflexion LK Prime晶片研磨、研磨和拋光裝置是需要卓越平面化、表面光潔度和邊緣質量的應用的理想解決方案。該機器由強大的服務團隊提供支持,提供廣泛的售後支持,以確保該工具提供持續的性能並滿足各種應用程序的需求。
還沒有評論