二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Reflexion LK #9283335 待售
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已售出
ID: 9283335
晶圓大小: 12"
優質的: 2012
Dielectric CMP system, 12"
Process: SIF, BPSG, Poly buff CMP
AMAT Reflexion LK:
(4) Heads
(3) Platen polishing systems
Dry in and dry out
Polisher skins
Gap wash
Load cup wafer exchanger
NOVA 3090 Next ready
(2) Monitors
Light tower
FOUP
WIP Delivery type
OHT Light curtain
E84 PI O Sensors and cables
E99 Carrier ID
Docked E99 reading capability
Docking flange shield
Frame configuration
Load ports
Load port operator interface
Operator access switch
Platen type
High pressure rinse flow meter
Rinse arms
Platen pad conditioner
Flow meter
Polishing technology
Polishing head
Cross break
Pad wafer loss sensor
Inter platen clean
Upper pneumatics assembly
ISRM Laser key switch
Slurry delivery system
Power cable (Head 1, Head 2, Head 3, Head 4)
Encoder cable (Head 1, Head 2, Head 3, Head 4)
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2012 vintage.
AMAT是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在為各種應用提供卓越的效果。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Reflexion LK系統提供了許多優點,使其非常適合生產級工藝。它有一個堅固的平臺，能夠處理直徑達300毫米的晶片，最多有八個研磨/研磨/拋光頭。此配置可提供高吞吐量和多功能性,使設備能夠容納各種應用程序。此外，AMAT Reflexion LK還配備了先進的閉環過程控制技術，確保精度結果。該機床的變速交流主軸電機進一步補充了這一精度,該電機允許在均勻材料磨損的情況下控制材料的去除速率。應用材料REFLEXION LK Reflexion LK還具有多種夾緊機構,使其非常適合各種工件。這包括一個獲得專利的用於容納平面基板的風蠟傳遞夾具，以及流行的用於直徑達200毫米的圓形晶片的5點夾具。Reflexion LK的其他功能還包括一個創新的模塊化變速箱,它允許輕松進行頭部配置、升級和可維護性。該機還配備了集成的機器健康監測和診斷，提供了高水平的操作員能見度。而且,Reflexion的設計允許各種清潔過程,包括自動顆粒物清洗和化學/氣體清洗。總而言之,應用材料AMAT/應用材料Reflexion LK Reflexion LK提供了強大的性能,旨在以可重復性和精確度提供卓越的效果。該工具的高科技編程、強大的設計和廣泛的夾緊選項使其非常適合各種過程。AMAT Reflexion LK憑借其先進的工藝控制和集成的診斷/維護功能,為一系列晶圓研磨、研磨和拋光應用提供了完美的解決方案。
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