二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK #293596541 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK
ID: 293596541
CMP Systems Process: Poly/STI.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK晶片研磨、研磨和拋光設備的設計使半導體和復合材料晶片加工具有最高的精度、最高的質量和最高的通量。LK系統是一種模塊化和可擴展的工具,可以定制以滿足特定的應用,並提供廣泛的加工功能,包括後磨、精密研磨和超精密加工拋光以及亞微米表面光潔度。AMAT Reflexion LK單元是一種精密機器,利用靜力、制導切削和流體分配技術相結合,減少材料去除時間,實現晶圓的高精度加工。該機包括一個先進的數控與集成材料監控工具,以確保一致的過程結果。控制單元提供了一系列可根據應用程序和結果進行調整的過程參數。集成流體輸送資產可確保過程中流體的受控分配。APPLICED MATERIALS Reflexion LK模型具有多種特點,便於高分辨率研磨和拋光操作。這包括先進的表面研磨和拋光頭,它提供了一系列的選項,如金剛石粘貼,拋光墊和晶圓載體。該設備還具有一個獲得專利的靜力懸浮墊,可將每個晶片牢固地固定在原位,從而消除操作過程中的滑動,並確保所有應用中的表面光潔度一致。Reflexion LK系統還提供了一系列選項,例如高壓冷卻、Wi-Fi監控、高精度晶圓調整以及各種其他功能,這些功能可以進一步提高研磨和拋光操作的工藝和準確性。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK是一種可靠、高效的晶圓研磨、研磨和拋光裝置,經過開發,達到了半導體和復合材料加工的精度、質量和吞吐量的最高標準。該工具具有模塊化和可擴展的設計,具有一系列流程參數和流程功能,可以完全定制以滿足特定的應用需求。其先進的數控和集成材料監測機確保了晶圓的一致加工結果和高精度加工。其獲得專利的靜力懸浮墊工具進一步提高了所有應用程序的準確性和精確度,而且其廣泛的選項確保了整個過程的最佳性能。
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