二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK #293807807 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK
ID: 293807807
CMP System.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK是一種專利的、最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在為基板-金屬、基板-半導體和其他半導體應用生產最優質的鍵接口。該系統為各種晶圓尺寸、形狀和材料提供了最大的精度,使其成為納米級晶圓制造的理想選擇。AMAT Reflexion LK利用獨一無二的三軸金剛石刀具定位單元,精確研磨、搭接和拋光直徑達4英寸的小晶片。這種精密機器減少了不希望的切削力,從而提高了產量和質量.研磨和拋光循環受到嚴格控制,壓力、轉速和溫度都受到嚴密監控。這樣可以精確控制過程中去除或添加的物料的數量。利用原位激光測量儀進一步提高了該工具的精度。這樣可以實時測量和控制物料清除過程,確保過程的均勻性並提高資產準確性。此外,模型中的準直器可確保較小的光斑尺寸,從而提供更高的均勻性和準確性。晶圓研磨、研磨和拋光循環可以有選擇地擴展到包括後處理步驟,如化學機械拋光(CMP)。CMP工藝進一步提高了晶片的精度,提高了精度和表面平整度,提高了晶片與晶片的均勻性。APPLICED MATERIALS Reflexion LK是在模塊化平臺上開發的,使其具有極大的用途和適應性,適用於廣泛的晶圓制造應用。該設備可配備多個可選組件,如光學檢測系統、高Q(長度穩定性)單元,以及用於平滑物料處理過程的自動裝載機。總之,Reflexion LK是一種提供精確3軸金剛石刀具定位的頂級磨削、研磨和拋光機。該工具在各種晶圓應用中提供均勻性、準確性和精確度。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK具有激光測量和CMP等先進特性,可確保晶圓質量和均勻性,提高產量並縮短上市時間。
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