二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK #9351487 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK是一種用於半導體和光學制造的基板的高精度研磨、研磨和拋光設備。該系統使用戶能夠以極高的精度和可重復性執行處理操作。它具有橋接式配置,允許並行晶片處理和統一處理。此外,該平臺還利用具有機器人單元的專有工藝單元設計來加載晶片,並提供高精度的研磨和研磨結果。機器操作方式是將晶片沿研磨運動方向旋轉，並使用振動和壓力傳感器將數據傳輸到計算機控制的研磨和研磨頭。AMAT Reflexion LK有多個工具元件，包括研磨和研磨頭、晶片卡盤、自動化晶片處理資產、視覺模型、邊緣傳感器和機器人設備。磨頭和磨頭由磨臺、馬達和磨石組成。內置視覺系統使用線掃描相機來檢測晶片並將其與研磨頭對齊。這是由邊緣傳感器支持的，該傳感器測量晶片在每次研磨和研磨過程後的表面質量。機器人單元用於將基板從晶片卡盤移動到研磨臺，反之亦然。該機采用現場測控工具，連續提供反饋，實時監控和調整工藝參數。此外,該資產具有高度的準確性和可重復性,使用戶能夠以最小的人工幹預獲得一致的結果。這是通過自動晶片處理模型和晶片卡盤實現的，其設計目的是將操作員處理的效果降至最低。APPLICED MATERIALS Reflexion LK也有幾個安全特性，例如用於控制研磨和研磨壓力和壓力以及振動監測的傳感器。最後，這種設備包括軟件包和用戶友好界面，允許用戶控制和分析每個研磨過程的結果。軟件包還允許用戶分析研磨數據，並提供必要的可視化和統計分析，以達到預期的效果。用戶友好的界面使用戶能夠輸入所需的工藝參數，並監測晶圓研磨和研磨工藝的進展。