二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK #9372768 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於加工直徑從200 mm到450mm的晶圓基板。該系統能夠將基板加工至盡可能高的拋光,從而為前沿設備制造提供最無缺陷的表面。該單元由數控基板處理機、磨床、磨床、拋光機和金剛石漿料分配機組成。CNC處理程序在X、Y和Z方向移動基板,並提供完整的3D定位控制。該處理程序旨在保持基板的粗糙度和表面平整度，同時提供三度晶圓取向和可調手柄力。磨床是一種高扭矩旋轉工具，從晶圓基板上去除高點和表面粗糙度。它配有高壓換能器和PID控制資產，用於快速、精確的研磨。該拍板采用兩級高壓拍板模型，可快速均勻地拍打。集成壓力傳感器可確保均勻層的壓力一致。拋光器配有一個大扭矩旋轉設備，用於主動和被動運動控制。它有一個集成的PID壓力控制系統，允許精確研磨和拋光。最後，金剛石漿料分配單元設計為提供均勻的金剛石漿料分布和清除沈積物。它使用專有的脈沖抽取計量機來控制泥漿隨時間的釋放。這樣可以確保在研磨和拋光過程中在晶片上均勻沈積金剛石。總體而言，AMAT Reflexion LK是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光工具，旨在以盡可能高的拋光水平生產無缺陷表面。其數控處理裝置和集成的金剛石漿料分配資產可實現精確、均勻的研磨和拋光。它堅固可靠的設計使其成為處理下一代設備的最先進的系統之一。