二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9056492 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion,是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在使半導體制造商能夠有效地應用MEMS加工和精細研磨來生產MEMS元件的超平坦、無損傷的表面。AMAT Reflexion配置了自動6軸機器人，揮舞著5英寸和6英寸的硬質合金研磨板、金剛石墊和泥漿托盤。自動機器人手臂在精細平衡的多軸程序上移動研磨工具,從而在多種材料中實現卓越的表面平整度和均勻的厚度。APPLICED MATERIALS Reflexion還配備了精密監控和導航（PMN）技術,使機器人能夠精確測量磨削表面的高度、角度、距離和其他參數,並根據要求的規格分配適量的磨料介質。此外，一個最先進的閉環控制系統不斷監控過程，以確保生產出質量最高的研磨。該設備還配備了一臺視覺機器，用於掃描傳入材料並評估研磨過程中的任何缺陷或缺陷。Reflexion還配備了無濾波器設計的除塵器,可實現清潔晶片處理環境,不會汙染加工過的晶片。該工具還具有三軸顆粒計數器，通過測量嵌入式磨料顆粒防止汙染。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion還具有觸摸屏界面,可輕松控制操作、記錄數據和實時監控。AMAT Reflexion使用軟件程序進行計劃和優化,以確保磨削工具的平穩運行和高效使用。該資產很容易與生產線中的其他系統集成在一起，從而簡化了流程，並保護下遊設備免受磨損或磨料汙染。此外,APPLIED MATERIALS Reflexion可以處理MEMS制造中使用的多種常見材料,並支持各種拋光速度,每秒高達0.5微米。Reflexion專為高性能和可靠性而設計,使半導體制造商能夠為MEMS應用生產具有完美曲面的元件。這是一個先進的研磨和拋光模型，非常適合在半導體工業中使用。