二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9182257 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Reflexion Wafer Grinding, Lapping&Opilishing Equipment是一種革命性的半導體工業制造技術。這種多用途系統提供了一種高效、經濟高效的方法，可以在一個步驟中生產復雜、高精度的晶片。它將研磨和拋光操作結合到單個集成的機器中,提供多功能性、可重復性和可擴展性。AMAT Reflexion單元包括精密機械部件和一整套先進的自動化和過程控制軟件。它以堅固的框架建造，利用兩個晶圓研磨輪生產精確的晶圓。磨削電動機由電子控制，並從精密儀表接收位置反饋，精密儀表還監測晶片的真空保持力。APPLICED MATERIALS Reflexion machine provides efficient wafer lapping and edge profiling to product precise wafer ge它利用自動研磨模塊對研磨操作進行自動化控制和監控。對主軸進行編程，以在工藝的不同階段調整拋光墊的負載和速度。精確的氣壓輸送工具將加壓空氣輸送到墊上，從而產生均勻拋光的表面。Reflexion還結合了精確的晶圓拋光。這是使用專利磨料墊實現的，這些磨料墊的設計與晶圓輪廓和地形完全匹配。拋光模組提供在拋光過程中自動控制墊與晶圓接觸力。一個精確的拋光溶液被送到拋光墊和內置的清潔資產最小化汙染的可能性。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion模型提供了完整的在線鑒定,並具有可追蹤的過程記錄。這為用戶提供了準確和可重復的過程結果以及單個晶圓幾何形狀、表面粗糙度、平坦度和其他關鍵過程參數的記錄。這允許驗證流程產量、停機時間、可重復性和其他重要流程參數。AMAT Reflexion晶圓研磨、研磨及拋光設備是半導體行業的卓越創新解決方案。它提供了一種高效、經濟高效的方法,可在一個步驟中生產復雜、高精度的晶片,提供無與倫比的多功能性、可重復性和可擴展性。