二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9235208 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion
已售出
ID: 9235208
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
Scanning Electron Microscope (SEM), 12" Process: CMP 2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion晶片研磨、研磨和拋光設備是一種通用、綜合的工具,用於生產用於半導體和光電行業的高質量的扁平和厚晶片。它有一個機械系統,設計來研磨,膝蓋和拋光高達6英寸/150毫米直徑的基板。該裝置設計用於在軟基板和硬基板上進行各種步驟,從粗磨到最好的拋光。AMAT Reflexion采用優化的機械設計,以最短的設置時間和精力確保高性能。整個機器包括一個機器人搬運工具裝載基板,一個高精度的數控研磨/研磨單元,和一個先進的拋光資產。機器人操作模型能夠以可重復的方式將基板加載到CNC控制的研磨/研磨單元上,精度為+/-0.02mm。CNC控制的研磨/研磨裝置能夠在剛性到光學軟的基板上獲得最高質量的表面。配備高精度直線導軌、小型運動平臺、電動主軸、安全安全套。應用材料反射晶片研磨、研磨及拋光設備還采用了先進的拋光系統.該單元提供過程控制和自動化的高度精確度。它還配備了一個先進的軟件包,允許方便的數據訪問和存儲,以及配方自動化和調度程序編程。反射機是一種用途極為廣泛、可靠的晶圓制造工具。它具有多模式處理功能,可配置用於任何類型的研磨和拋光應用。這允許最大程度的靈活性,並允許更短的周期時間。該工具還通過高度的過程控制提供了出色的重復性、準確性和性能。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion能夠實現最大的平整度和表面粗糙度,並具有最佳的可重復性。資產也是人性化的,極易操作。AMAT Reflexion模型是實現高級應用的高質量基板的絕佳工具。
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