二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9282203 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion
已售出
ID: 9282203
晶圓大小: 12"
Dielectric CMP system, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion Wafer磨削、研磨及拋光設備旨在為一系列半導體晶片的精密研磨、研磨和拋光提供精確、自動化的控制。該機利用先進的運動控制、超精確的電動平臺和先進的反饋控制技術,確保對所有研磨、研磨、拋光功能的精確控制。首先,機器在研磨前使用精密電動平臺調整晶片的位置。機動化平臺可以以十分之一毫米的增量調整,允許晶圓的重復、精確研磨。不同的晶片也可以用分開的平臺來處理,讓機器研磨和圈上其他類型的晶片。其次,利用先進的反饋控制技術,進一步提高其精度。一個力控制器測量作用在晶片和研磨表面的力,使機器能夠調整研磨過程的速度和壓力。這樣可以確保晶片只承受達到所需結果所需的力,從而產生精確的研磨和拋光。第三,利用定向基體力進行精密研磨和拋光。這臺機器對晶圓的研磨方向和受力進行微小的調整,在彎曲和/或復雜的形狀上提供完美的研磨。這保證了晶片的形狀和拋光完美,沒有表面的不規則性。最後,AMAT Reflexion系統采用用戶友好的控制設計,方便晶圓處理人員進行設置和操作。該單元的可調控制參數允許用戶自定義研磨、研磨和拋光周期以獲得精確的結果。最後,應用材料反射晶片研磨、研磨拋光機提供了一種精密的、自動化的研磨、搭接和拋光半導體晶片的方法。該機利用先進的運動控制、精確的電動平臺和先進的反饋控制技術,確保了準確、可重復的研磨、研磨和拋光。該機還配備了人性化的控件,使其無需密集的操作員培訓即可由晶圓加工人員輕松操作。
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