二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9390825 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion是為各種半導體晶圓加工應用而設計的晶圓研磨、研磨和拋光設備。它主要用於Si、GaAs或Ge等半導體晶片的背面研磨和研磨。該系統由模塊化平臺組成，將磨頭、研磨板、晶片卡盤和晶片載體耦合在一起。AMAT Reflexion單元為開發領先設備的所有制造步驟提供了最大的靈活性。APPLICED MATERIALS Reflexion的磨頭設計用於加工大小大小的晶圓,平均去除率令人印象深刻。旋轉磨頭封裝在密閉的隔間中，適合廣泛的潔凈室操作。其攪拌器式設計保證了研磨過程中所有磨料漿料的過濾，保證了更高質量的效果。磨頭可以配置一個或兩個磨石，根據應用程序可以編制索引。Reflexion的研磨板設計為提供最佳表面光潔度。它采用高精度軸運動機構，能夠主動滾筒運動，從而在晶圓定位和地形測量中實現亞毫米精度。該板由高強度不銹鋼制成，有多種尺寸可供選擇。此外，研磨板是可調的，以適應大範圍的直徑和厚度。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion機器的晶片卡盤和晶片載體設計為在研磨和研磨過程中快速、精確地固定和引導晶片。托架用於將晶片固定在磨頭上,而卡盤則用於研磨。這兩個部件都附著在磨頭上，便於精確定位。卡盤和托架可以通過用戶界面進行控制，使用單個旋鈕調節研磨或研磨過程的壓力和速度。AMAT Reflexion配備了各種各樣的安全和監控裝置。其中包括在不安全的情況下停止機器的電源互鎖,以及可用於監視晶圓厚度和狀況的光學攝像頭。此外,該工具還具有多種診斷功能,例如診斷程序,用於檢測操作人員並提醒其研磨或研磨速度不正確。此外，機載診斷使用戶能夠快速準確地重新校準資產，以達到預期的效果。APPLICED MATERIALS Reflexion是一種最先進的晶圓研磨、研磨和拋光模型,為設備處理提供最大的靈活性和精度。其強大的磨頭和精確的研磨板使操作員能夠從任何晶圓加工應用中獲得最高質量的結果。其最先進的安全、監控和診斷功能確保安全有效地執行所有操作。