二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9390826 待售
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ID: 9390826
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Dielectric CMP system, 12"
(3) Load ports
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 200 V, 3 Phase
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種先進的工具,旨在在受控環境中提供卓越的精度、重復性和吞吐量。它被用於大體積晶圓拋光應用中,專門用於創造更高水平的晶圓平坦度。該系統獨特的設計結合了先進的計算機控制機芯和專利拋光工藝,以確保卓越的精度。AMAT Reflexion單元為用戶提供了比以往任何時候都更好的拋光工藝控制和定制。它包括了一系列的研磨和拋光站,每一個站都能夠執行多個功能。研磨站采用精密金剛石輪來制備晶片表面,而拋光站則利用獨特的專利拋光工藝來實現高水平的表面平整度。用戶可以定制機器以滿足他們的特定要求,從晶圓的大小到拋光過程中的步驟數。此外,該工具還具有自動加載/卸載資產,可消除手動操作並提高一致性。此外,整個模型被集成到閉環操作中,以確保以最小的設置和移除時間跟蹤和執行拋光過程。APPLIED MATERIALS Reflexion設備配備了先進的監控和診斷,使用戶可以持續監控整個過程。這樣可以確保晶片以盡可能高的精度和可重復性進行拋光。此外,對拋光工藝的實時分析使系統能夠在影響質量之前檢測和糾正任何偏差。最後,該單元在晶片轉移作進一步處理之前進行全面的質量保證測試。最後,Reflexion機是一種用於高容量晶圓拋光應用的先進工具。它具有強大的功能組合,使用戶能夠自定義拋光過程、提高準確性並監控整個過程。該工具非常適合那些尋求卓越性能、準確性和吞吐量的用戶。
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