二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9394792 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion系列晶圓研磨、研磨和拋光系統的設計使半導體晶圓、晶體和其他基材能夠快速、高精度地研磨、研磨和拋光。在使用中，設備能夠提供比+/-1/10微米更好的均勻性。該系統非常適合Si、Ge、熔融二氧化矽、石英、GaAs、InP等多種半導體材料等基材。AMAT Reflexion單元設計有兩個階段的過程，首先是研磨階段，然後是圈速和拋光階段。第一級采用安裝在高速主軸上的金剛石磨輪。金剛石輪以高達每分鐘5,000轉的速度旋轉，降低基板的初始厚度，並將基板磨削成所需的形狀和尺寸。第二個階段包括研磨和拋光階段，基板被一個能夠以高達150,000 rpm的速度工作的金剛石研磨盤進一步減少。研磨盤能夠提供1 nm RMS或更高的超高表面光潔度。最後的拋光階段采用微墊和漿料進行，使表面拋光至完美。APPLIED MATERIALS Reflexion還可以配置兩個研磨磁盤,從而提高吞吐量和準確性。Reflexion還包括其他一些使其易於使用和維護的功能。它配備了堅固的控制機器，確保所有組件正確對齊，並且該工具提供最佳性能。該資產還配備了內置的安全模式，其中包括緊急電源按鈕。最後,AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion包括內置的減振設備,可確保整個系統與環境振動隔離。AMAT Reflexion晶片研磨、研磨和拋光裝置為基材研磨、膝部和拋光提供了可靠、高精度的平臺。該機具有兩級工藝、高速金剛石砂輪和研磨盤以及內置的安全和減振系統，能夠提供均勻性和高表面光潔度。