二手 APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #151915 待售
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已售出
ID: 151915
CMP system
Specifications:
Wafer handling robot (integration capable)
(1) 20" platen (ISRM capable)
(4) Load cups
(1) Pad conditioner
(3) Pad conditioner cleaners
(3) Inter platen cleaners
(3) Slurry delivery systems (MIPS)
VME controller Pentium III, 128 SRAM
De-installed 2009
2000 vintage.
應用材料Mirra Mesa是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備。用戶友好的設計是完全自動化的高速、高產生產。系統的組成部分被設計為以最小的維護提供最大的效率。Mirra Mesa由機器人晶片處理站、晶圓研磨站、晶圓研磨站和晶圓拋光站組成。機器人在研磨/研磨/拋光站之間快速加載、卸載和傳輸晶片。磨床采用金剛石磨輪安裝在密封的精密控制主軸上,使晶片成形。研磨站設有多軸龍門,用於精密表面研磨。拋光站提供三軸精密驅動的精加工和表面粗糙度控制。整個單元是針對包括矽、絕緣子上矽等材料在內的各種晶圓材料而設計的。集成控制機具高速數據采集和控制功能,便於編程和數據存儲。此外,APPLICED MATERIALS Mirra Mesa非常精確,在所有三個運動軸中都有刀具中心,並且在所有三個軸中均具有出色的無接觸軸承技術。該工具提供卓越的空氣過濾,所有研磨,研磨,拋光微粒從工作區域耗盡,確保操作人員和設備的安全。自動化的過程,用戶友好的編程和提高安全性,使操作員變得更加高效和提高產量。Mirra Mesa資產也是可擴展的,具有兩軸和三軸配置。該模型能夠精確研磨、研磨和拋光各種晶圓材料,比傳統方法時間更短,產量更好。應用材料Mirra Mesa是一種最先進的設備,旨在降低晶圓研磨、研磨和拋光的成本和復雜性。
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