二手 BOYER-SHULTZ H-612 #9238660 待售
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BOYER-SCHULTZ BOYER-SHULTZ H-612晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種全自動系統,它提供了一種高效的半導體晶圓和其他基材的精磨、研磨和拋光方法。該單元最多支持三個並行工藝,晶圓制備,研磨工藝和拋光,允許高效生產。它具有三級工藝和兩級多緩沖機,用於最終晶圓的清洗和拋光。此外,它還利用高級、高精度和高級流程控制功能。刀具的研磨階段涉及精密研磨晶片和預磨晶片。它設計用於超光滑研磨,並使用旋轉研磨砂輪進行單面或雙面加工。這之後是一個受控的染色循環,產生優越的晶圓邊緣和改進的光潔度。研磨階段是利用多緩沖資產控制端面粗糙度的兩階段研磨過程。它能夠在不同的階段為廣泛的應用進行拋光。在研磨過程之後,采用獲得專利的驅動技術進行單板拋光,以實現最大的邊緣完整性和厚度。BOYER-SCHULTZ H-612晶圓研磨、研磨和拋光模型設計用於即時校正和在線數據記錄,從而實現過程優化。它還配備了許多軟件功能,以加強數據管理,包括流程映射和存檔。該設備包括一個完全可編程的多過程控制軟件,允許基於配方的性能。此外,其帶觸摸屏的CNC PC控件提供了一個動態界面,便於設置和在線過程監控。綜上所述,BOYER-SCHULTZ BOYER-SHULTZ H-612晶圓研磨、研磨和拋光系統是一種全自動裝置,旨在對半導體晶圓和其他基板進行精密研磨,並具有最大效率和重復性。它利用先進的過程控制技術,包括多階段過程、多緩沖機、獲得專利的CNC PC驅動器和大量軟件功能,以取得優異的效果。該工具非常適合所有類型的研磨和拋光應用,並且非常適合半導體或微電子工業。
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