二手 BUEHLER 10-1040-460 #9276732 待售

BUEHLER 10-1040-460是為高精度操作而設計的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統能夠實現晶圓厚度、平整度、平行性和其他幾何特征的嚴格公差。10-1040-460由於其機械和研磨執行器相結合,在整個過程中施加一致的載荷和研磨壓力,因此提供了高精度的平整控制和一致的表面質量。該裝置的設計支持各種晶片，厚度從0.500mm到1.500mm不等。BUEHLER 10-1040-460包含幾個組件以達到精細的效果。精密主軸將晶片固定在真空墊上，在整個過程中保持其穩定性。這是一種具有傾斜能力的靜水軸承，允許可變角度和方向的研磨運動。采用三軸伺服電動機臺來控制晶片的X-Y-Z運動，為研磨過程精確定位。一個高速研磨頭與羊毛拋光墊跟隨X-Y-Z表的運動。10-1040-460包括各種部件，以監測和防止磨削壓力過大。一個自由浮動的壓力傳感器，例如，持續監測研磨頭對晶片的壓力。這樣可以更嚴格地控制所需的表面光潔度,並防止過度的研磨壓力。此外，光電位移傳感器和液晶顯示器還提供了晶圓位置和表面輪廓的精確監控。使用先進的觸摸屏操作員界面可以方便和高度精確的操作。通過界面，操作員可以輕松定義壓力和速度等設置，並監控研磨、研磨、拋光工藝的進展。此操作員界面簡化了BUEHLER 10-1040-460的操作和控制,確保了結果的可靠性和準確性。總而言之，10-1040-460是一款先進的晶圓研磨、研磨拋光機，配有元件，保證晶圓的精確操作和緊密公差。從精密主軸、伺服電動機臺、研磨頭、壓力傳感器、光電位移傳感器到先進的操作員界面，這一工具的設計以最小的操作員工作量提供可靠準確的結果。