二手 BUEHLER Ecomet 3 #293808563 待售

BUEHLER Ecomet 3是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備，旨在為要求苛刻的應用提供最大的吞吐量和質量。這個系統可以快速處理各種半導體、mems和光電晶片。BUEHLER ECOMET-3包括一個預加載的磨料旋轉木馬、一個主軸、三個加工室和一個多區域油煙罩，以確保有效、高效和安全的工藝。Ecomet 3上預裝的磨料旋轉木馬含有磨料化合物和研磨、研磨、拋光的化合物。這種自動預加載確保磨料在整個晶片過程中可用。ECOMET-3內的主軸與磨料輪的表面配合使用,通過使用形狀、旋轉和壓力來實現受控磨削,從而形成更高效的切割動作。此外,主軸還包含多個回火機構,以確保磨料輪的表面可隨時使用。BUEHLER Ecomet 3的三個工藝室可以單獨配置，以匹配晶圓的大小和形狀以及特定的研磨和拋光要求。例如，下室用於研磨，上室和中室分別用於研磨和拋光。這臺多功能機器可以支撐多種材料，包括石英、藍寶石、SiC、多晶金剛石等晶片基材。BUEHLER ECOMET-3上的多區煙霧罩確保了有效、高效和安全的過程。它捕獲在研磨和拋光過程中排放的有害物質，如金屬粉塵和金屬氧化物。此外,Ecomet 3上的ESC智能控制體系結構提供實時狀態和過程監控,以幫助優化生產率,同時提高晶圓產量和質量。總之，ECOMET-3是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光裝置，為要求苛刻的應用提供吞吐量、質量和安全性。這臺機器包括一個自動預加載的磨料旋轉木馬、一個有效的主軸、三個加工室和一個多區油煙罩以捕獲危險材料。基於BUEHLER Ecomet 3的ESC智能控制體系結構為優化生產效率和質量提供了過程控制和監控。