二手 BUEHLER Ecomet 3000 #293759596 待售

BUEHLER Ecomet 3000是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，旨在滿足高通量、高質量半導體制造的需求。該系統旨在實現小於1nm RMS粗糙度的一致表面光潔度,並經過校準以符合半導體制造商設定的標準。Ecomet 3000具有內置的各種功能,可用於磨削、研磨和拋光直徑不超過8英寸的晶片。它擁有10倍放大顯微鏡的臺式頂臺、金剛石鋼磨輪，以及自動化的光學測量和虛擬計量單元。該機器采用金剛石和鋼制磨輪的組合來磨削晶片表面並將其旋轉至所需的表面。重復研磨和研磨過程,直到達到所需的表面光潔度。一旦達到了所需的表面光潔度，工具便使用金剛石拋光墊和漿料的組合，在晶圓表面產生超光滑的光潔度。該資產有一系列的選項，允許用戶根據其特定工藝的具體需要定制晶圓研磨、研磨和拋光工藝。這些選項包括各種輪子、金剛石和拋光墊類型和尺寸,以便根據應用產生不同類型的飾面。該模型還能夠分析表面圖像,以確定實現所需表面光潔度的最佳研磨和拋光設置。BUEHLER Ecomet 3000還包括一個最先進的軟件包,可用於實時監視和控制過程,確保獲得最佳效果。總體而言，Ecomet 3000是晶圓研磨、研磨和拋光的通用、可靠和經濟高效的解決方案。它旨在滿足高吞吐量和高質量半導體制造的需求,能夠實現不到1nm RMS的表面光潔度。