二手 BUEHLER ECOMET 4 #9294141 待售

BUEHLER ECOMET 4是專門為集成電路（IC）電路中使用的半導體及相關材料而設計的晶圓研磨、研磨和拋光設備。這種多功能系統非常適合在各種材料中生產光滑、精密的接地和研磨的表面，如藍寶石、氮化鋁、的、金剛石和矽。該單元允許在一個設置中處理厚度和大小從200毫米到12英寸（300毫米）不等的晶片,從而無需在使用不同晶片尺寸時手動更換板材。機器配備了兩個相互獨立移動的壓板，可以精確控制研磨、研磨和拋光過程。Platen Rotation motor and tooling arbor committed of a platen rotation motor and tooling arbor subsequest level平板也針對高速研磨、研磨、拋光進行了優化，最大轉速為600 RPM。除了精密研磨和研磨外，ECOMET 4工具還提供了幾種先進的拋光功能，包括旋轉、軌道和線性拋光。所有拋光工藝均設計為可產生高達2nm的拋光均勻度。該資產還配備了高精度線性進料，提供對樣品定位的精確控制。為方便起見，BUEHLER ECOMET 4晶圓研磨、研磨、拋光模型包括了廣泛的可互換板材、工裝喬木、拋光墊和配件。該設備還包括幾個用戶友好的功能，如直觀的圖形用戶界面、精密磨床和遠程數據記錄。這使操作員能夠快速輕松地監視、編程和查看流程參數。ECOMET 4系統是一種可靠、通用的晶圓研磨、研磨、拋光裝置，是要求苛刻、體積大的材料加工應用的理想選擇。