二手 BUEHLER ECOMET III #9033156 待售

BUEHLER ECOMET III是專門設計用於半導體晶圓生產的自動化晶圓研磨、研磨和拋光設備。這個先進的系統能夠研磨、研磨和拋光多種不同的半導體材料，比如矽、GaAs、藍寶石、石英等等。ECOMET III利用精密的行星磨料拋光板在晶片表面上提供卓越的光潔度，在晶片厚度和尺寸上提供卓越的精度。BUEHLER ECOMET III由精確的外部西門子伺服電機提供動力，在研磨和拋光的同時提供精確的速度和壓力控制。這確保了每個加工晶片的高質量表面光潔度。ECOMET III配備了一個獨特的、可調的壓力電池，可以根據每個晶片的定制光潔度進行調整。BUEHLER ECOMET III還包含一個溫度控制卡盤，確保最佳研磨和拋光效果。ECOMET III的設計目的是提供一致的吞吐量和質量結果,同時盡量減少操作員的註意。這是通過內置功能實現的,例如自動索引以實現可重復的晶片加載,以及能夠保存許多流程配方設置。BUEHLER ECOMET III還具有兩種不同的磨輪（金剛石或非金剛石磨料）的選擇，以適應具體的應用要求。ECOMET III還為方便維護和維修而設計。該單元包括一個主軸維修機，使行星磨料板的快速和易於維護。BUEHLER ECOMET III還配備了自動研磨介質補充工具，有助於確保資產始終為晶圓產生均勻的光潔度。總體而言，ECOMET III是一種高度可靠且用途廣泛的晶圓研磨、研磨和拋光模型，為提高半導體工業的生產率提供了卓越的精確度和精確度。設備使用方便，占地面積小，可根據特定應用需求輕松定制。