二手 BUEHLER ECOMET III #9133292 待售

BUEHLER ECOMET III是先進的晶圓研磨研磨拋光設備。該系統旨在為單片研磨、研磨和拋光操作提供高精度的結果。它提供了卓越的精度，可重復性和表面光潔度控制，為更大的過程控制和更高的產量。這種多用途單元結合了全自動6軸機器人和精密直線電機級。6軸機器人提供的運動範圍很廣,包括兩個橫向運動軸、兩個角運動軸和兩個線性運動軸。精密直線電動機級提供了高性能的工作平臺，具有高精度和重復性，為單晶片或多晶片應用提供了靈活性。該機還配備了ECOMET III軟件包。此軟件提供了一系列高級功能,包括直觀的用戶界面、交互式計劃工具、流程控制功能以及用於跟蹤流程性能的數學功能。該軟件還包括一個集成的安全數據管理工具。BUEHLER ECOMET III適合各種應用包括；薄膜沈積、鈍化、切丁和反磨。此外，它還可用於制圖、設備隔離、稀釋和計量。該資產還提供卓越的質量結果,具有可靠的可重復性。它還設計方便維護和操作，有一個集成的安全模型。此外,設備還包括各種控制選項,例如自動電平控制、遠程監控和每個軸的反饋。此外,它還包括一組專用的模具適配器和樣板支架,以實現更大的靈活性。最後，ECOMET III也獲得ISO 9001認證，確保了最高質量的標準和工藝。所有部件均由優質材料制成，並遵守行業標準。此外，該系統經過了廣泛的測試，以確保在苛刻的晶圓處理環境中的可靠運行。