二手 BUEHLER ECOMET III #9162398 待售

BUEHLER ECOMET III是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，為中小型生產應用提供了一種高效、經濟高效的解決方案。該系統設計用於半導體、材料、光學和其他相關行業，旨在獲得卓越性能的高質量結果。該單元采用鑄鋁框架，提供最大的穩定性和穩定性，確保可靠的操作和高精度的光潔度。研磨、研磨和拋光功能在一個模塊中進行對齊和集成,該模塊可以根據客戶的需要由固體或復合部件組成。該機由ECOMET III Grinder、BUEHLER ECOMET III Lapper、ECOMET III Polisher和BUEHLER ECOMET III Loader四部分組成。磨床能夠研磨直徑達8英寸/200毫米的晶圓。它由0.25HP伺服電機和集成流體動力電路提供動力，用於磨削工具的變速操作。Lapper專為5 英寸/125mm的晶圓尺寸而設計,采用變速技術獲得優異的拋光效果。它由0.125HP伺服電動機驅動，並配有三段精密圈速。Polisher專為1-4英寸/25-100毫米晶圓而設計，並由0.20 HP伺服電動機提供動力，轉速範圍為5-50 RPM。夾緊機構由杯式卡盤和防風卡盤組成。加載程序自動執行晶片處理過程,由一個獨立控制器控制,最多可執行三個可編程作業。最後，ECOMET III是對半導體和其他材料進行研磨、研磨和拋光的高效且成本效益高的工具。該資產是為精確、高質量的結果和提高生產率而設計的。它采用堅固輕巧的框架構成，並通過其伺服電機技術確保可靠、精確的操作。