二手 BUEHLER ECOMET V #9032870 待售

BUEHLER ECOMET V是為生產制造超精密半導體晶片而設計的先進晶圓研磨、研磨拋光設備。它利用專有的磨損和拋光技術來滿足對平整度、形狀精度和表面光潔度的嚴格要求。該系統的核心是先進的HTC金剛石研磨裝置。雙頭潤滑機可確保在磨削過程中適當分配冷卻劑,而可調節的輪筒可對不同表面飾面的磨料晶粒選擇進行微調。該工具還使用一組定位器來相對於電極和刷頭定位基板，從而對研磨過程進行精確控制。對於研磨和拋光,ECOMET V利用多軸運動平臺,該平臺包含垂直、水平和圓形振蕩的研磨和拋光頭。實時過程監控資產提供了對實際參數的反饋，允許調整研磨機和研磨機。然後利用多級拋光技術實現所需的表面光潔度。第一階段是發射臺，在發射臺上準備打磨表面。第二階段采用金剛石磨料拋光墊，第三階段也是最後一個階段配備了一系列加工溶液，包括化學--機械拋光（CMP），以進一步提煉表面光潔度。BUEHLER ECOMET V包括一整套軟件和雜項配件，用於將設備與其他制造工藝相結合。集成視頻監控系統允許查看研磨、研磨和拋光過程，數據采集單元提供詳細的數據記錄。ECOMET V具有一套全面的安全特性，並經過認證符合所有當地安全法規。BUEHLER ECOMET V憑借其先進的研磨和拋光技術，為生產超精密晶圓元件提供了可靠、經濟高效的解決方案。