二手 BUEHLER Phoenix 4000 #177485 待售

BUEHLER Phoenix 4000是一種先進的自動化晶片研磨、研磨和拋光設備,設計用於晶片制造和薄膜沈積的最大吞吐量和工藝保真度。該系統消除了原晶片表面的半導體缺陷，保證了臨界尺寸均勻性和晶片平面性的高產重復性。鳳凰4000采用磨削、研磨和拋光三階段工藝。在研磨階段，自動化單元使用彈性體皮帶快速準確地從晶片中去除材料，而研磨階段則使用金剛石化合物和磨料紙在晶片表面實現光滑、均勻的光潔度。最後一個階段的過程，拋光，然後被用來在晶圓表面上達到非常低的Ra（粗糙度平均值），並達到所需的薄膜沈積。BUEHLER Phoenix 4000還具有多種尖端的安全功能,包括一個用於防止灰塵顆粒的整體外殼和一個可調節的力傳感器,用於監控在整個拋光過程中施加到晶圓上的壓力。此外，它有一個自動晶片保護機器，以防止過度磨削和液晶屏顯示器顯示完整的過程控制。總之，Phoenix 4000是一種高度先進、自動化的晶圓研磨、研磨和拋光工具，設計用於晶圓制造和薄膜沈積的最大通量和工藝保真度。它具有多種安全特性和工藝控制，以及各種彈性體帶和金剛石化合物，具有準確性和可重復性。