二手 BUEHLER Phoenix 4000 #9377666 待售

BUEHLER Phoenix 4000是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，用於半導體工業。該系統設計用於在自動化、高精度的環境中研磨、研磨和拋光直徑達8英寸的晶片。它能夠處理大型生產運行,過程配方存儲在最多50個板載內存插槽中。菲尼克斯4000配備了強大的直流電機和高扭矩驅動，用於精確研磨和研磨動作。主軸轉速和受力可調節,可微調研磨和拋光參數.集成的噴嘴特性為去除晶圓表面的缺陷提供了必要的冷卻和潤滑。BUEHLER Phoenix 4000還具有鉆石晶片頭,該晶片頭的設計目的是提供無毛刺或凹坑的光滑磨削。晶片頭可針對不同的厚度進行調節以獲得最佳性能。有許多配件可用於定制晶圓研磨、研磨和拋光工藝。其中包括多個磨料金剛石磨輪、一個主動冷卻單元和一系列研磨漿料。Phoenix 4000還包括一系列增強功能,可實現研磨和研磨過程的自動化。其中包括一臺用於監控晶片進度的高級視覺機器，以及一個用戶友好界面，帶有觸摸屏控件，便於過程編輯和分析功能。各種分析工具均可用於監測晶圓溫度、晶圓硬度和表面光潔度。內置數據記錄功能記錄並存儲流程參數和數據,以便將來進行召回和分析。BUEHLER Phoenix 4000是半導體工業中高精度研磨、研磨和拋光晶圓的創新工具。它提供了卓越的性能,內置了分析工具、自動化的過程控制以及用於定制過程的一系列附件。