二手 BUEHLER Techmet #9033153 待售

BUEHLER Techmet是來自ITW公司BUEHLER的最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統專為生產和研究應用而設計，提供精確、可重復的結果。該單元由一個集成的桌面底盤組成,其中包含多個子系統。研磨拋光操作由一臺自動化的平板計算機控制的行星機器支持。它最多可容納6個8英寸晶圓載波,每個載波的最大直徑可達200毫米。該工具旨在提供研磨和拋光參數,以達到特定的性能要求。磨削階段具有先進的高速、伺服控制的直線電機資產，在晶圓表面上具有廣泛的運動範圍。可調主軸深度在6至64微米之間，以精確控制研磨過程。此外,該模型還具有一個智能端點檢測子系統,該子系統允許您精確監控和調整研磨參數。拋光操作還通過可調速度、運行時間和力參數實現自動化和控制。Techmet采用板載高分辨率成像剖面儀，編程為測量晶圓表面的重塑輪廓。這樣就可以精確測量用於優化的關鍵尺寸,以及驗證和質量控制。直觀的用戶界面由基於Windows的操作員控制組成,具有觸摸屏,易於使用。此外,BUEHLER Techmet還提供分析和SPC數據采集功能。這允許更大的過程控制,有助於確保一致實現所需的規範,實現更高的產量,並減少浪費。綜上所述，Techmet是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備，旨在使精密零件具有精確和可重復性。集成自動化系統具有高速、伺服控制的直線電機單元、可調節的速度、運行時間和力參數,以及車載高分辨率成像剖面儀。直觀的用戶界面、診斷系統和SPC數據采集提供了確保最佳性能所必需的強大工具。