二手 BULA BM 365 #9195106 待售
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單擊可縮放
ID: 9195106
Polishing machines
Round table diameter: 550mm
Vertical stroke: 230mm
Horizontal stroke: 210mm
(4) Workpiece holder spindles
(3) Polishing units
Automatic grinding compound
Machine hours: Approx. 21000h
Extraction system: Ruwac
Control: Siemens simatic S7
2007-2008 vintage.
BULA BM 365是一種高精度、自動化的晶圓研磨、研磨和拋光設備,在多種材料中提供卓越的加工精度和性能。該系統標配兩軸數控控制器,用於快速、精確的控制,用於精確研磨和研磨的強大主軸,以及自動晶圓分配單元。BM 365設計用於研磨和圈裝直徑達六英寸的半導體晶片。主軸配備0至2,500 RPM的可調速度範圍,提供精確的研磨結果。這臺機器最大的主軸功率為1.5KW,甚至可以處理最堅韌的材料.該工具還配備了氣動滾筒夾具,確保晶圓的精確定位,提高加工精度。采用金剛石研磨介質進行研磨和拋光。主軸的高速允許短循環時間和優越的磨損質量。頂板可確保均勻旋轉和自動壓緊控制,從而獲得優異的磨削效果。該資產還配備了真空模型,以確保有效的材料去除和晶圓的精確研磨。BULA BM 365包括兩個自動晶片裝卸站。設備還配備了全自動晶片分配系統,以顯著減少循環時間。晶圓分配單元能夠在真空或無氮模式下運行,這取決於工藝的要求。BM 365與計算機軟件包兼容,最大靈活性。它具有以太網接口,便於遠程連接和數據交換。機器直觀、交互式的人機界面,使設置和操作既快捷又方便。BULA BM 365為各種材料的研磨、研磨和拋光提供了卓越的精度和精確度。憑借其特性和性能,該工具一定能幫助實現更高的產量並降低成本。
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