二手 CMV 5-25 #9045669 待售

CMV 5-25
ID: 9045669
晶圓大小: 3"
Polisher, 3" (5) Spindle.
CMV 5-25是一種高級晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在為各種工業應用提供高精度、高材料去除率和優越表面光潔度的組合。該系統由附著在高精度XYZ級上的高速主軸組件組成,可用於在三個維度上精確定位工件。主軸裝置在順時針和逆時針方向上運行,提供受控的研磨、研磨和拋光操作。該單元采用閉環伺服電機,允許高精度和重復性,以及高頻主軸,用於高速運行。5-25刀具提供高材料去除率,表面飾面低至Ra 0.01微米。控制資產配備了多個程序存儲器,這些存儲器可用於存儲各種單獨的進程,以實現可重復和準確的結果。此外,還可以通過LCD觸摸屏圖形用戶界面快速輕松地對流程周期進行編程。通過門鎖、運動感應安全開關和斷電等多種安全功能,確保了模型安全。該機還配備了相鄰的外部泵和閥門控制控制臺,可用於提供一系列液體輔助應用。該設備可用於進一步的精密加工,如後研磨和水/化學輔助精密拋光。這些泵還有助於噴射高速研磨過程中產生的熱量。為了提供精確、可重復的系統控制,CMV 5-25單元采用高精度、多軸編碼器設計,利用電容和感應測量尺度確保高性能。該機還配備了各種放大器和控制器系統,可沿三個軸對主軸進行高速、精確和可重復的運動控制。5-25刀具是研磨、研磨、拋光等工業晶片基應用中高精度、高材料去除率、優越表面光潔度的完美解決方案。它提供了無與倫比的精度、可重復性和準確性,並增加了易於編程、更高的安全性和結合液體輔助工藝的能力。
還沒有評論