二手 COBURN CMX 50 #9245010 待售

COBURN CMX 50晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種先進的生產系統,可滿足扁平、薄、細膩基板的應用要求。這個單元結合了超精密的砂輪頭與微觀定位和研磨階段，以更快、更準確和經濟的生產過程。磨輪頭采用了獨特的分段設計，可實現精細部件的高精度磨削和拋光，對材料的應力和應力最小。砂輪頭采用精密電機，空氣軸承結構精確，定位嚴密。它還具有可調的速度控制和可調節的研磨力粗細研磨。此外，這個車輪頭有一個集成的除塵機，有助於減少汙染和內置冷卻工具來控制溫度。CMX 50的研磨拋光階段提供了高精度的表面光潔度，消除了基板上的缺陷。它配有微型定位臺，用於精確定位基板以及高精度旋轉研磨板。旋轉式研磨板可調節至300 rpm的速度，可處理直徑在0.6至12.7 mm厚的基板，最大尺寸為150 mm。COBURN CMX 50可以處理各種晶圓和基材的大型生產運行。這項資產的精確、自動化流程可實現高速、提高精度、縮短周期時間和提高吞吐量。CMX 50是光學、光電、SEM和高性能集成電路精細晶片和基板的高精度研磨、研磨、拋光的理想選擇。也適用於要求苛刻的納米加工要求。