二手 DAITRON DBM-603 #9247683 待售

DAITRON DBM-603是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，用於各種基材和晶圓尺寸。它有一個6軸機器人手臂處理程序，配備了一個三軸無頭主軸電機精確研磨和研磨操作。該系統可用於半導體晶片、器件基板、薄膜和包括玻璃、陶瓷和金屬在內的光學材料。該單元提供了一個簡單、高效的流程工作流和一個用戶友好的界面。DBM-603穩定的主軸電機和動態的磨削模式調整，確保了精密的磨削和精加工。本機具有高精度的均勻表面光潔度.Robot Arm Handler配備了剛性刀架和集成空氣卡盤，以獲得精確的三維研磨圖案。刀具路徑編輯器能夠根據材料和晶圓大小設置研磨步驟和速度的變量。閉環控制工具穩定刀具扭矩以減少主軸電機的任何模型偏差。這樣可以確保在基板上保持研磨參數,以便進行精確的研磨操作。DAITRON DBM-603的研磨過程包括一個集成的空氣凈化資產，以清除拋光表面的任何灰塵和顆粒。它還具有一個電阻加熱模型，支持快速和均勻研磨。DBM-603與各種不同尺寸和材料組合的研磨盤兼容。這樣就可以在單個通道內實現所需的均勻性和表面光潔度。自動主軸加載設備可確保將研磨工具快速無誤地加載到電機甲板。DAITRON DBM-603的拋光系統與5程序選擇單元集成在一起，可方便地選擇拋光參數和步驟。該機還具有自動校正自動壓力機構，可監控拋光墊和基板之間的接觸壓力。這樣可以確保準確和均勻的拋光結果。該工具還配備了濾水器，以清除拋光表面的任何汙垢。DBM-603配備了一個強大的軟件包來配置研磨，研磨和拋光過程。軟件采用各種數據管理工具來存儲和監控研磨和拋光參數，如壓力、速度、進料速率、沖程數等。它還提供各種圖形工具來評估拋光結果和叠加圖像進行比較。DAITRON DBM-603以最短的安裝時間提供可靠的結果以降低生產成本。這一資產也是緊湊的，需要極少的維護，使其成為精密晶圓研磨、研磨和拋光的高效工具。