二手 DISCO DAG 810 #293618525 待售
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DISCO DAG 810是一種高度精確的晶圓研磨、研磨和拋光設備,專門設計用於研磨和加工半導體材料。該系統可以處理直徑不超過8英寸的單個晶片,非常適合準備設備和測試晶片以便進一步處理。該單元包括一個高精度數控磨頭,能夠提供一致和精確的控制進給率和主軸速度精確研磨。磨頭具有操作人員友好的界面,便於設置和訪問優化的進給速率和主軸速度設置。為了防止因熱或其他汙染而降解,磨頭還具有將磨頭機構與主體徹底分離的特點,這有助於保持內部部件的冷卻。該機配有強大的測量和分析工具,便於進行校正或微調磨削操作,以達到最佳精度和精度。該資產允許對研磨操作進行分析和反饋,以發現更多的見解並提高研磨質量。此外,先進的晶圓平衡模型確保了平衡研磨,設備還包括自動晶圓索引、饋送和轉發例程。該系統配備了先進的拋光工藝,可確保完整的表面光潔度,而不會產生任何劃痕、凹坑或劃痕。預拋光過程平滑晶片表面,同時最小化微粒的形成。拋光工藝按照客戶要求進行,考慮到各種拋光參數,如漿料濃度、磨料類型、拋光速度和壓力。拋光後的過程包括將晶片表面拋光到更高的平滑和精加工水平。最後,該單元采用集成環境對整個過程進行監控。這種環境控制機器允許研磨、研磨和拋光過程同步,以減少基板損壞或汙染。這樣可以確保處理結果的均勻性,即使在很大的批量上也是如此。
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