二手 DISCO DAG 810 #293759189 待售

DISCO DAG 810晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種自動化的獨立系統,旨在為半導體及相關行業提供精確的計量和研磨能力。該單元由幾個模塊組成，包括一個掃描級和一個具有固定拋光臺和晶片支架的研磨拋光單元。該機器可以很容易地集成到現有的制造操作中。DISCO DAG810的主要特點包括一個大型磨臺，帶有多種工具，如金剛石磨輪、圓盤和金剛石毛氈輪。這些工具使用戶能夠有效地執行各種研磨過程，如高精度研磨和研磨。晶圓架包括一個可調的行程行程，以容納一個範圍的形狀晶圓。研磨階段還配備了用於提高和降低晶片的夾具，這樣可以在進行研磨操作時進行更大的控制。晶圓座還兼作拋光模組，具有氣動機構快速精確地升降拋光臺。此功能非常適合高質量拋光操作,如CMP和CP拋光。DAG 810還設有一個掃描階段，用於在研磨和拋光操作過程中檢查、測量和分析晶片。該工具配有大視場，用於精確檢查和掃描晶圓的參數，如直徑、晶圓翻轉角和傾斜度。掃描階段還包括一個自動化的高精度3維掃描機構，用於分析各種參數，如表面質量、表面粗糙度和缺陷標準。資產還包括一個自動化的CCD成像模型，它允許用戶進行各種類型的晶圓檢查和/或評估表面光潔度。該設備還包括一個可用於精確測量晶片厚度、曲率半徑和角度的觸摸測量系統。總體而言，DAG810自動研磨、研磨和拋光裝置非常適合那些需要精確和精確研磨和拋光操作的操作。這臺機器設計的特點和產品支持更高的準確性，可重復性和可靠性。它為用戶提供了一種安全可靠的方式來研磨和仔細檢查半導體晶片的最高收率。