二手 DISCO DAG 810 #293794154 待售

DISCO DAG 810是一款最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於高精度晶圓的精密和大批量生產。該系統具有機械臂和集成光學檢查功能，可實現自動化操作和質量保證。磨削臺階包含一個DCG003A磨輪,控制轉速為600至800 rpm。粗糙的研磨過程使用細金剛石砂礫來實現所需的45°倒角，以最小的毛刺確保完美的晶圓轉彎。磨削裝置提供600至4000 RPM的可調速率，允許各種厚度和特定特性的高壓磨削。該裝置還配備了壓力傳感器，可對研磨參數進行精確控制和監測。研磨步驟包括磨料如金剛石漿料和幹拋光墊。這些漿料和墊料通過水動力耦合到晶圓表面，從而實現了材料的高精度拋光和去除。研磨由旋轉控制，轉速在50至1000 RPM之間，確保了一致的拋光效果。在研磨步驟之後,進行拋光過程。在拋光步驟中，使用獨特的高精度拋光設計的DCP-T100工藝頭將各種拋光化合物應用於晶圓表面。該裝置是氣動驅動的可靠和可重復拋光操作。拋光所用的壓力是可調的，可以最佳地應用轉速和壓力。集成真空機防止磨料漿散射，保持清潔的工作環境。最後,集成光學檢查通過檢查晶片表面存在的任何異物的倒角形狀、毛刺高度、角形,有助於優化生產質量。該工具每分鐘可測試100個晶圓，從而實現高效的質量控制。簡而言之，DISCO DAG810晶片研磨、研磨、拋光資產被設計為提供高精度、高容量的晶片生產。集成的光學檢查模型允許生產過程的自動化操作和質量保證。此設備非常適合需要一流性能和質量的精密應用。