二手 DISCO DAG 810 #9228239 待售

DISCO DAG 810是高度通用、全自動、閉環晶圓研磨、研磨、拋光設備。該系統是為滿足先進半導體器件制造的需要而設計的，在這種情況下，需要大量生產表面光潔度更高、精度更高的晶片。DISCO DAG810具有一個專用的機器平臺,具有單一的工作臺設計,最多可容納8個加工盒式磁帶,每個盒式磁帶最多可容納150個晶圓片。這允許對多個晶圓大小進行高速順序處理。該表還具有x軸和y軸的線性運動,使晶片能夠準確、快速地定位到加工位置。該單元使用最新的研磨、研磨和拋光工藝來快速、準確地實現所需的表面光潔度。專用的金剛石磨輪、板槽、拋光盤安裝在DAG 810上，允許在需要時快速方便地更換。用於研磨過程的研磨輪設計獨特，可產生精細、光滑的表面光潔度。開槽工具放置在機器的底部，用於在晶片表面創建凹槽和脊，以改善晶片和摻雜劑之間的接觸。拋光過程中使用的拋光圓盤具有優異的磨料性能，確保了高度拋光的表面光潔度。該工具的用戶友好軟件界面使用戶能夠輕松方便地監控和控制每個流程的參數。監測資產提供了有關流程參數的實時反饋，能夠快速、精確地進行調整，以確保獲得最佳質量結果。該模型還提供自我診斷功能,以確保設備始終處於最佳運行狀態。DAG810旨在提供快速、準確的晶圓研磨、研磨和拋光工藝,同時保持最高的質量控制標準並提供最大的靈活性。該系統是高效、準確處理各種晶圓尺寸、形狀和曲面的理想解決方案。