二手 DISCO DAG 810 #9394642 待售

DISCO DAG 810是一款高性能晶圓研磨、研磨拋光設備。該系統設計用於在半導體和其他硬質材料中研磨、打磨和拋光精密幾何形狀和精細表面紋理的元件。DISCO DAG810具有精密陶瓷盤磨盤、雙主軸磨盤和研磨盤以及精密拋光板，可對各種部件進行精密加工。磨盤由高精度陶瓷盤制成，精確同心度在0.5微米以內，平坦度在1微米以內。雙主軸磨削和研磨板由兩個獨立的主軸驅動，以提高加工效率。在研磨和研磨過程中使用真空卡盤固定工件，並設計用於將工件的平整度保持到0.15微米。精密拋光板由單一預拋光表面構成，可考慮較少參數的高拋光質量，以及具有最小噪音和灰塵的改進拋光性能。拋光頭由直流電動機提供動力,可配置轉速範圍為0-2500 RPM。末端效應器是氣動致動的，利用拋光膜提供精確光滑的光潔度。還包括一個高壓氣動拋光頭，提供了強大的壓力，從而增加了每次單位的拋光面積，以提高加工效率。該裝置設計用於硬質材料的高精度加工和拋光，具有精密聚焦控制器，可提供精確的主軸速度和進給率控制。該控制器還具有自動定位和速率控制功能,可實現晶圓的最佳定位和操作.最後，設計了DAG 810型空氣機械，用於高精度的空氣軸承控制，保證了高精度的處理和消除沈降時間。DAG 810的先進功能為制造商提供了高效可靠的晶圓研磨、研磨和拋光工具。