二手 DISCO DFG 840 #9210019 待售

DISCO DFG 840晶圓研磨、研磨及拋光設備是半導體基板及其他精密材料的濕法研磨、研磨及拋光的理想選擇。該系統是建立在一個可靠和剛性的四輪移動設計，需要最小的地板空間，仍然提供了極好的單位靈活性。提供給機器的電源來自常規的230 V電源,最大耗電量為2.2kW。它包括各種流程自動化選項，直觀的人機界面（HMI）便於設置和操作控制。DISCO DFG840的刀頭設計為可容納厚度高達0.3mm的5英寸（127毫米）晶片,並采用高度精確的3軸定位裝置,可實現6軸全機動化運動。真空吸力和旋轉卡盤在過程中將晶片固定到位，這兩者都可以調整以適應範圍廣泛的晶片尺寸和厚度。刀頭還包含一個空氣軸承主軸，非常適合零件裝卸和砂輪安裝/拆卸。DFG-840裝有兩個研磨主軸，每個主軸都裝有兩個精密制造的研磨輪，用於研磨和拋光過程。由電子控制的變速壓板提供動力，磨輪可以在600-30,000 rpm的轉速下運行，使用戶能夠為每個工藝選擇最佳速度。集成的水冷有助於防止顆粒重新分布，並將熱量從研磨點移開，從而提高工藝精度和重復性。對於重復過程，DISCO DFG-840提供了一個彎曲校準板，有助於補償不均勻的基板形狀。該工具還允許將基板表面移植到預定義的流體和基板上,以便進行背面平面化或鏡面應用。此外,該資產還配置了一整套警報和診斷模式,用於安全處理。堅固的設計和全面的特性確保了DFG 840提供最大的模型剛度和正常運行時間以及較低的運營成本。設備進行研磨、研磨和拋光過程的最終結果是接近完美的平面化和表面形狀精度。通過使用系統提供的免提操作能力，用戶可以在自己的半導體基板上實現最高質量的飾面。