二手 DISCO DFG 840 #9219352 待售

DISCO DFG 840是一種晶圓研磨、研磨、拋光系統，非常適合纖薄晶圓變薄至5-10 μ m。它具有磨削、松動和拋光工藝，有助於形成光滑和均勻的表面，以生產優質的半導體器件。磨削過程利用多種垂直排列的磨石精確瞄準，有效研磨晶片。高度剛性的磨床和盤式驅動器旨在減少振動並確保磨石的精確運動。變速控制允許精確的速度設定和所有方向上相等的研磨力。高精度磨削光頭通過防止磨石原位位移，提供了卓越的精度。在晶圓研磨和拋光過程中，松動過程利用泥漿進料幫助顆粒松動。通過添加研磨漿料和使用研磨臂，可以精確控制後磨過程。拋光工藝采用圓形拋光臺，配有由聚氨酯橡膠制成的支撐底座以及不銹鋼壓板。還有一個內置的噴霧噴嘴，用於在過程中將拋光漿液均勻地散布在整個拋光板上。DISCO DFG840一次最多可處理15個晶圓,可在600、900和1200 mm研磨/拋光臺中使用。系統還配備了程序模擬器、自動化操作和圖形輸出功能，幫助操作員調整參數、過程控制和故障排除問題。該系統旨在提供高度的可重復性,能夠實現4 nm或更高的表面粗糙度,非常適合晶圓稀釋應用。