二手 DISCO DFG 840HS #9119673 待售

DISCO DFG 840HS是用於半導體制造設施的精密半導體晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統利用最新的研磨拋光技術,實現亞微米特性的超精密、高速研磨和拋光,並生產缺陷較少的光學平坦表面。為確保最高質量的結果，DISCO DFG 840 HS采用高速研磨、研磨和拋光技術相結合。其研磨頭利用一個可控平整度為0.5 μ m的旋轉金剛石輪，其獨特的控制單元保持0.5至3.2 N/mm的精確研磨力。金剛石車輪采用了一種精密的圖樣設計技術來優化磨削效果，同時避免地下損壞。此外，該機包含兩步研磨板，具有低粗糙度氧化鋁研磨板和高粗糙度金剛石研磨板。該工具還采用了橫滑拋光頭，利用線性和旋轉運動的組合來實現高質量的表面飾面。資產包含一個數字電動機，控制電動機的速度和方向，允許精確和可重復的運動。該電動機還包含一個專利的進給控制模型，該模型限制晶圓上的負載，以確保拋光操作過程中不會發生損壞。設備還配備了多種測量和分析工具，以保證結果的質量。它包括一個3軸表面檢查系統，在強制潛水顯微鏡上裝有CCD相機。這允許用戶測量晶圓固體的平坦度和步高，從而可以檢測到任何潛在的刮擦、斷裂和其他不規則現象。此外，電阻率機器可以測量薄膜厚度和均勻性，不需要人工檢查。總體而言，DFG 840HS是一種功能強大和創新的半導體晶圓研磨、研磨和拋光裝置，能夠在缺陷最小的情況下實現精確和可重復的結果。它包括先進的研磨和拋光技術，以及各種測量和分析工具，使其成為晶圓制造設施的寶貴資產。