二手 DISCO DFG 841 #9276810 待售

DISCO DFG 841是一款專業的晶圓研磨、研磨、拋光設備，用於加工半導體等材料，創造出最優秀的特性，達到非凡的表面光潔度水平。這種混合系統結合了傳統研磨和拋光系統的能力和先進的研磨產生高精度晶圓和精細間距互連。該單元設計用於處理各種基材和材料類型的復雜地形。DISCO DFG841的研磨能力全面，為精細間距多層互連提供了高精度晶圓研磨，為高縱橫比溝槽和立柱提供了先進的研磨。研磨工藝采用金剛石膜磨料，以降低表面粗糙度，降低表面損傷程度，實現所需的微觀地形。機器還包括自動調整尺寸和可編程輪廓控制等功能,以便能夠獨立控制沿基板的研磨運動,從而快速準確地研磨顛簸、柱子和其他精細的螺距特征。該工具的拋光功能為各種材料提供了卓越的表面光潔度和整體表面地形生成。DFG 841使用靜電拋光設備,將電流控制的拋光材料應用於基板,與傳統的機械拋光相比,可提供卓越的表面光潔度和快速的工藝周期。該模型的高級控制過程允許對同一基板內的拋光表面和深度進行獨立控制,從而能夠創建具有高精度和卓越表面光潔度的復雜體系結構。最後，DFG841的全自動拋光有助於確保在單次運行中對多個晶片進行高質量的處理，減少循環時間。該設備設計方便操作，具有直觀的觸摸屏操作和強大的邊緣檢測算法，能夠靈活的輪廓和過程控制。該系統還提供單步裝卸，以實現高效、安全的基板處理和減少汙染。總體而言,DISCO DFG 841是一種功能強大且用途廣泛的研磨、研磨和拋光工具,旨在在各種基板和材料類型上創建高精度特征。此單元為用戶提供了一套全面的特性和功能,即使是最復雜的材料設計,也是實現卓越表面光潔度和地形的絕佳選擇。