二手 DISCO DFG 8540 #9225618 待售

DISCO DGF 8540是一款高精度、多功能晶圓研磨、研磨拋光設備，專為半導體行業而設計。該系統能夠處理各種晶圓尺寸，從3英寸到300毫米不等，並配備了一系列用戶友好和先進的功能，以提供最佳的過程可重復性。DISCO DGF 8540由幾個核心組件組成,包括主機架、CCD攝像頭和用戶界面PC。該單元的主框架由鑄鐵底座、電動級和減振臺組成。工業級X級和Y級提供了0.1 μ m的高精度定位和可重復路徑精度。強大的1.5kW主軸電機配有氣動主軸驅動器，用於變速研磨、研磨或拋光。該機裝有液冷主軸，能夠操作高達80,000 RPM，用於高效晶圓加工操作。集成的CCD攝像頭允許對液晶顯示器上的加工晶片進行非接觸式檢查，並允許在不停止生產的情況下實時調整工藝參數。基於PC的用戶界面提供了友好、直觀的圖形顯示,可幫助指導用戶完成整個過程。該工具能夠存儲多個配方並對其進行編輯,以及處理環境監視和日誌記錄。DISCO DGF 8540具有幹磨和濕磨兩種工藝的能力，專門設計用於減少顆粒生成，同時提供了一種更具成本效益的替代人工加工的方法。該資產提供一致且可重復的結果，最小粒徑為11nm。晶圓研磨型號有單頭和雙頭兩種配置，並配有機器人晶圓加載設備，以增加便利。DISCO DGF 8540是高容量晶圓研磨、研磨、拋光應用的理想選擇。其先進的特性、高精度和可重復性使其成為任何半導體加工設施的寶貴補充。