二手 DISCO DFG 8540 #9230301 待售
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DISCO DFG 8540晶片研磨、研磨和拋光設備是用於研磨、膝蓋和拋光半導體和光學晶片的最先進的設置。該系統由兩臺平磨、角磨數控磨床、單面拋光機、雙面拋光機和空氣研磨拋光機組成。CNC利用球桿、伺服電動機和線性刻度實現了完全自動化,保證了每次通過的精度,X和Y軸可以移動到360度,分辨率為0.001mm,最大進給速度為20m/min。此外,該單元可以在一個非常小的區域進行研磨,在那裏可以精確地控制切削深度。拋光機帶有內置的手臂組件,當晶片在墊上移動時,該組件對晶片提供均勻的壓力。雙面拋光機包括上下兩個獨立的機械臂,可同時容納多個晶片。每個臂都裝有接觸控制系統,以確保對每個晶片施加均勻的壓力,並且無需手動校準。空氣研磨拋光機由兩個臂組成,兩個臂由兩個獨立的電動機驅動,每個臂都有兩個用於固定晶片的板。它采用超聲波工藝,產生均勻、重復的圖案,確保均勻的拋光表面。本機理論精度範圍為+/-0.1至0.005 mm,而轉速可由900轉調整至6000rpm。DISCO DFG8540是一個強大的機器設計,以產生最高質量的晶圓表面。它配備了磨削、研磨和拋光方面的最新技術,產生了持續一致的工藝結果,並經過了多個級別的驗證。該工具的設計也考慮到了用戶友好的操作,提供了許多易於閱讀的顯示器和廣泛的流程設置,以確保每次通過時都能獲得最高的效率。
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