二手 DISCO DFG 8540 #9395420 待售

DISCO DFG 8540晶片研磨、研磨和拋光設備是一種高精度、自動化的機床，用於在半導體晶片上創建光滑、平坦的表面。該系統能夠處理從鎢到石英的各種不同尺寸和形狀的任何材料。DISCO DFG8540具有先進的設計,使其能夠在最短的設置時間內快速準確地運行。該機包括一個高精度和易於使用的研磨/拋光頭主軸，使其能夠達到低於0.5 μ米的平坦度值。此外,該單元還可以容納各種研磨/拋光墊和工藝變化,包括晶圓通孔和板面加工。該機采用5軸運動控制和永磁直驅直線電機，提供高精度步進運動和動態響應速率。此外,該工具還可實現3D研磨和拋光控制,使操作員能夠實現高達0.05-μ m精度的平面化。DFG 8540還具有經過優化的CCD資產,旨在為整個過程控制提供高分辨率的數字反饋。該模型能夠測量位移、平面高度位移、表面粗糙度和圓度。該設備還具有高速伺服驅動器，用於優化研磨速率和拋光工藝。此外，DFG8540還配備了真空卡盤，以提高晶圓的平整度，使操作員能夠在與傳統工藝相比的一小部分時間內取得成果。總體而言,DISCO DFG 8540是在半導體晶片上創建接近完美曲面的理想解決方案。憑借其5軸運動控制、高精度步進運動能力和優化的CCD系統，該單元提供了最大的精度和精確度，同時以其高速伺服驅動提供了無與倫比的速度和效率。