二手 DISCO DFG 8560 #293827491 待售

DISCO DFG 8560是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於處理直徑達8英寸的平面和3D半導體晶圓。該系統緊湊靈活，允許處理單面和雙面晶片。它專為處理矽和高K介電材料而設計。DISCO DFG8560利用研磨、拋光和研磨相結合的階段來實現精確的納米級表面光潔度。它配備了DISCO多用途拋光單元（VPU）,利用兩個獨立的旋轉和軌道、高精度、精細的間距圓盤來實現非常精確的平整度和表面光潔度控制。此外，該裝置還裝有高性能清潔機器，利用空氣和化學溶液確保所有汙染物得到有效清除。工具包括專用的調理單元，用於研磨和研磨。它采用金剛石研磨和SiC研磨板的組合設計，可有效加工平面和3D基板。該資產還采用了先進的冷卻模式，以確保從加工過程中有效地除熱。用戶友好的觸摸屏界面，讓晶圓工藝配方和參數的設置更加輕松。用戶可以從一系列研磨、研磨和拋光步驟中進行選擇,並修改每個步驟的參數,例如速度、壓力、速度和螺距。這允許最大程度的靈活性和對基板表面光潔度的控制。DFG 8560配備了全面的安全功能，以確保操作員和加工室內敏感基板的安全。它兼有緊急停止按鈕和門聯鎖設備，以防止操作員受傷。它還具有環境傳感器來監控過程環境,以確保最高級別的安全。DFG8560是一種可靠、高效、可復制的晶圓研磨、研磨和拋光系統。它兼具手動和自動操作模式，並具備全面的內置安全功能，以確保機組及其操作員的安全。它旨在為各種半導體加工應用提供精確的納米級表面飾面。