二手 DISCO DFG 8560 #9173636 待售

DISCO DFG 8560是一種自動化晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統設計用於自動處理高達8英寸的半導體晶片。直徑。該裝置的四級金剛石銑削工藝和兩頭拋光機提供了高通量和精確度，產生了高質量的成品晶片。該工具包括研磨、研磨、拋光和檢驗四個階段。DISCO DFG8560的研磨機構由一對平行於每個銑輪的兩個高精度線性滑軌和一對兩個伺服電機組成。線性幻燈片將wafe移動到所需的銑削位置。伺服電機將銑輪驅動到晶圓研磨的正確位置。線性幻燈片的分辨率為0.5 um,可重復性精度為1 um。在DFG 8560研磨階段，金剛石磨輪橫掃晶圓表面，以細化表面平滑度。研磨臺階使用金剛石研磨輪磨蝕晶片表面，得到均勻平坦的表面。研磨輪由金剛石顆粒組成，設計為具有很高的研磨性，每通可去除一層薄薄的晶圓表面，DFG8560拋光階段采用雙頭拋光輪進一步平滑表面。兩頭輪有兩個磨料介質表面，它們同時對晶片表面進行拋光和成形。雙頭拋光輪還能去除晶圓上的微劃痕。檢查級用於檢查晶片的表面質量和拋光等級。檢測站配有光學顯微鏡，用於放大和分析晶片在各個點的表面狀況。利用檢測站的結果，對資產運行進行微調，確保質量一致的拋光效果。總體而言，DISCO DFG 8560晶片研磨、研磨和拋光模型能夠生產高質量的成品晶片。其精密線性滑軌、伺服電動機和雙頭拋光輪的組合提供了準確和可重復的結果。該檢測站為自動生產高質量半導體晶片提供了一個全面的解決方案。