二手 DISCO DFG 8560 #9289336 待售
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DISCO DFG 8560是一種多功能、晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在提高各種半導體材料的表面光潔度、精度輪廓和平坦度。該系統基於獨特的靜水技術,利用特殊的研磨油消除任何金屬與金屬的接觸,從而減少磨損對研磨效果的影響。該過程從研磨開始,最後以高精度精加工研磨和拋光的最後一步結束。該單元的研磨單元能夠在8英寸(203毫米)的圓盤直徑上以1微米(0.001毫米)的精度研磨和研磨晶片。這非常適合在各種半導體基板上進行精密表面精加工,包括石英、矽、砷、金剛石等復合材料。磨頭由高扭矩伺服電動機驅動,設計承受高達500N的負載。它由數字信號處理器控制,允許完全自動化。研磨頭可在X、Y和Z軸上、下、側移,進行精確定位和控制。該機器能夠產生極高且可重復的表面粗糙度值(Ra)低至0.06微米。研磨單元和研磨/拋光單元的組合使用戶能夠同時控制圓盤直徑及其厚度公差。此特征可以獲得高精度和均勻的平面度、輪廓和表面光潔度結果。研磨/拋光頭由單獨的伺服電動機驅動,旋轉速度可高達8,000rpm。所有操作都是通過數字編程命令執行的,盡管有手動控制選項。研磨/拋光工藝可以濕法和幹法兩種方式進行。在濕模態下,金剛石漿料在晶片拋光或研磨時施加,以幫助減少劃痕量。可以定期監測和調整漿料的一致性,從而確保一段時間內一致的加工結果。DISCO DFG8560工具是一種多功能可靠的設備,適用於低成本和高級精密操作,也適用於商業用途。該資產按照嚴格的行業標準進行設計和測試,每個組件都經過耐用性測試,以確保其整個使用壽命期間的可靠性能。該車型還能夠進行升級,以進行更先進的操作,使其成為單件和大批量生產的便捷和多用途的選擇。
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