二手 DISCO DFG 8560 #9384708 待售
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DISCO DFG 8560是一種晶圓研磨、研磨、拋光設備,設計用於3英寸至200毫米直徑晶圓的高效處理。這對於IC制造商和先進的晶圓研究和產品開發實驗室是理想的選擇。其主要特點包括全自動的板晶片處理系統、振蕩研磨、研磨、拋光,以及最後的離線晶片檢測。機器裝有雙面晶片處理單元,用於從機器前部裝卸晶片。盤片裝卸機包括八個可獨立操作的自動化裝載機/卸載機托盤。然後將晶片安裝到真空卡盤上進行研磨、研磨或拋光。磨削過程由兩個同步振蕩的板配磨輪進行,提供恒定的磨削力。然後將車輪懸掛在彈簧加載的雙連桿機構上,該機構可自動調整振蕩沖程長度和研磨力。為了進行拋光,可以將多個晶片基板安裝在由橋支撐的四塊研磨板上。印版采用頂置拋光輪,可針對不同晶圓尺寸進行調節。DISCO DFG8560還具有雙面主軸晶片支架,可在單個操作中對晶片兩側進行背對背研磨和研磨。晶片固定器具有真空卡盤,可鎖定在基板上以進行安全處理。DFG 8560還有一個可編程的晶圓定向工具,用於各種操作。晶圓方向可在12個不同方向上改變,也可用於邊緣研磨或偏角研磨。該機具有兩軸變速控制資產(X-Y),用於調整研磨速度和研磨速度。該模型允許精確控制研磨和研磨任務的速度、方向和角度。該設備采用不銹鋼制造,具有優異的耐用性和性能.機器還設有全自動晶片清洗和幹洗循環,可以編程為在研磨、研磨和拋光過程後自動凈化、幹燥和清潔晶片。清潔周期還包括一個右上噴霧器和噴水器,能夠從晶圓表面去除緊密粘附的顆粒。該機還具有雙級表面檢測系統,可確保優越、一致的晶圓質量。該單元包括兩個獨立的高分辨率攝像機,可以對晶片的正面和背面進行數字檢查。總之,DFG8560是一臺專業級、晶圓研磨、研磨、拋光機,是IC制造商和先進晶圓研發實驗室的理想選擇。其自動化的板晶片處理工具、振蕩研磨、研磨和拋光能力,以及兩軸速度控制資產,使其成為快速高效生產完美晶片的完美解決方案。雙級表面檢查和自動清洗和幹洗循環確保了優越的晶圓質量。
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