二手 DISCO DFM 2800 / DGP 8761 #9277917 待售
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已售出
ID: 9277917
優質的: 2012
System
Thin processing below: 25 μm
Diamond grinding wheel Z1, Z2 axis: φ300 mm
Dry polishing wheel Z3 axis: φ450 mm
8" & 12" Common kit included
2012 vintage.
DISCO DFM 2800/DGP 8761是晶圓研磨、研磨、拋光設備,采用單一集成平臺,使精密晶圓的制造成為可能。該系統為晶片的研磨、研磨和拋光提供了前所未有的高性能、準確性和可重復性。該裝置采用三級研磨/研磨工藝,以產生適用於電氣、光學和微機械元件的高度精確的表面。該工藝的第一階段是用磨料塗覆的砂輪。接著是一個研磨臺階,該臺階使用一個旋轉的壓板將晶片與第二個更細的磨料摩擦,以消除任何毛刺或表面的不規則性。最後階段采用經過專門設計的拋光塊,以產生光滑、閃亮的光潔度。DFM 2800具有內置的自動研磨和研磨工藝,使操作員能夠快速輕松地設置工藝參數並監控生產工藝。該機器還包括一個視覺工具,可以檢測晶圓的不準確或缺陷。由於能夠準確監控主軸的速度、運動和功率使用情況,資產的準確性和可重復性得到進一步提高。DGP 8761包含幾種專有技術,可進一步提高工藝的準確性和可重復性。它采用了一種專有的砂輪設計,以最大程度地減少磨損並提供更好的去除砂礫,同時也提高了工藝精度。該模型還包含一個獨特的螺距控制拋光輪設計,這有助於產生高度精確和一致的表面和邊緣。DFM 2800/DGP 8761是需要極高精度和精確度的晶圓基板制造的理想解決方案。通過實現更高水平的質量控制和可重復性,這種設備是確保晶圓生產取得一致和可靠成果的關鍵。
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